Entdecken Sie die fortschrittliche Fertigungstechnologie bei GlobalFoundries

Entdecken Sie die fortschrittliche Fertigungstechnologie bei GlobalFoundries

Mein Name ist Thomas und ich bin der Vice President für Fertigungstechnologie bei Global Foundries. Heute sind wir im Integration testing and Development Center in Saratoga Springs, New York. Dies ist unser Labor für fortschrittliche Automatisierungstechnologien. Hinter mir sehen Sie die Umgebung, die später in unserer neuen integrierten Schaltkreis-Fertigungsanlage Fab8 hier in New York in großem Maßstab eingesetzt wird.

In unserem Labor gibt es viele verschiedene bewegliche Teile. Wir haben alle Hardware-Komponenten für den Materialtransport in einer Fabrik. In einer Fabrik gibt es buchstäblich tausend oder mehr Geräte, die auf einer sehr großen Fläche verteilt sind. Was Sie hinter mir sehen, ist die Art und Weise, wie wir Wafer zwischen den verschiedenen Werkzeugsets transportieren. Es gibt nicht nur die Hardware, die erforderlich ist, um die Wafer von einem Punkt zum anderen zu transportieren, sondern auch die Schnittstellen zu den Werkzeugen, die in der eigentlichen Fertigungsanlage eingesetzt werden.

Hinter den Kulissen läuft auch die Software, die den Materialfluss von einer Operation zur nächsten steuert und sicherstellt, dass der richtige Wafer zur richtigen Zeit am richtigen Ort ankommt. Es gibt also eine Menge Interaktion zwischen der Hardware und der Software. Viele der hier in Malta gezeigten Fähigkeiten haben wir von unserem Standort in Dresden übernommen. Wir integrieren auch neue Fähigkeiten, die in Fab1 in Dresden nicht verfügbar sind und werden hier in dieser Umgebung getestet und validiert.

In unserem Labor haben wir einen Bereich, den wir "Stocker" nennen. Hier werden die Wafer gelagert, wenn sie nicht bearbeitet werden. Das Materialtransportsystem, das auf den Schienen oberhalb läuft, kommt vorbei, hält an und nimmt den Wafer mit, um ihn zur nächsten Operation zu bringen.

Ein Fortschritt ist, dass in einer fortschrittlichen Fabrik wie Fab 8 viel weniger Stocker benötigt werden als in herkömmlichen Anlagen. Das erreichen wir durch sogenanntes "Zero Footprint Storage", also eine platzsparende Lagerung unterhalb der Schienen. Dadurch stellen wir sicher, dass die richtigen Wafer zur richtigen Zeit am richtigen Ort sind.

In unserem Labor haben wir auch eine Wafer-Sortiermaschine. Hier werden die Wafer umsortiert und neu angeordnet, um bestimmte Signale innerhalb des Fertigungsprozesses zu isolieren und Probleme zu erkennen und zu lösen. In einer hochvolumigen Fertigungsumgebung ist dies ein integraler Bestandteil unserer Ausbeute-Management-Fähigkeiten.

Der ITDC in Malta ist ein großartiges Testlabor, in dem wir Hardware- und Softwarekomponenten testen können, die in unseren Fabriken eingesetzt werden. Es verfügt über eine Vielzahl von Schnittstellen und ermöglicht uns umfangreiche Tests trotz der begrenzten Fläche.

Ein wichtiger Teil unseres Labors ist das sogenannte "Deep Tool". Hier können bis zu 100 Wafer gelagert und simuliert werden, um verschiedene Prozesszellen zu testen. Wir verwenden auch eine Metrology-Maschine, um die Eigenschaften der Wafer zu messen und die Datenverarbeitung und automatisierte Entscheidungsfindung zu überprüfen.

Diese Einblicke zeigen, welche Fähigkeiten wir hier im Labor entwickeln und in der Fab8-Mega-Fabrik in Upstate New York einsetzen werden. Vielen Dank für Ihren Besuch!